[AURIGA] FIB - Pt deposition 불가 안내 *실험 내용 확인 필*
- 등록일
- 2025.12.18
- 조회수
- 128
현재 AURIGA 장비의 Pt Gas 소진 및 교체 일정으로 인해
FIB 분석 시 장비 내 Pt deposition이 불가합니다.
(※ FIB 밀링 영역에 국소적으로 Pt를 증착하는 공정)
이로 인해
- 표면 정보가 중요한 시편,
- 분석 깊이가 1 µm 이내인 경우,
- 표면 요철 또는 굴곡이 심한 시편의 경우 등
표면 손상 및 가공 불량이 불가피하므로
위 조건에 해당하는 분석 예약은 피해주시기 바랍니다.
※ 본 안내는 AURIGA 장비 내 Pt deposition에 한정된 사항이며,
백금 코팅 장비, Crossbeam 550(FIB) 장비는 정상적으로 사용 가능합니다
