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FESEM(SUPRA)

Field-Emission Scanning Electron Microscope

모델
SUPRA 55VP
기기실
주사전자현미경실
호실
201동 209호
담당자
장수진
연락처
02-880-4957
이메일
zzinyi@snu.ac.kr
확인해주세요!

· 모든 사용료는 '부가세 별도' 입니다.

· 소속구분에 따른 적용비율 (일부기기 제외) : 교육기관 100%, 국공립기관 150%, 기업체 200%

상세정보
모델명 SUPRA 55VP
구입년도 2008
제조국 Germany
제조회사 Carl Zeiss
동작원리 전자빔이 시료와 충돌한 후 방출되는 2차전자 및 후방산란전자 등의 특성
으로 3차원 이미지를 형성한다. 특히 전자가 전기장에 의하여 방출되므로
해상도가 향상되어 고배율, 고해상도 수준에서 표면구조를 관찰할 수 있는
장비이다.
장비성능 - 해상력 : 1.0 nm (15 kV), 1.7 nm (1 kV)
- 가속전압 : 0.1 - 30 kV
- 배율 : 12 - 90만배
- 전자방출 : 열전계방출형
- 저진공 관찰 기능 : 시료를 전처리 없이 직접 관찰 가능 (2 - 133 Pa)
- 고진공 및 저진공 상태에서 이차전자 이미지 획득 가능
- 후방산란전자 이미지 획득 가능
- High Resolution Digital Image Processing and Analysis System
디지털 장치를 통해 화상을 디지털 파일화하여 화상분석 시스템에서
처리함
- cooling stage 이미지 관찰 가능
: 저온에서 이미지 관찰

Sputter coater : (BAL-TEC/SCD 005)
용도 - 고해상도/고배율 표면구조 관찰
·나노 수준 미세구조의 표면 관찰
·각종 생물/비생물성 시료(필름, 섬유, 입자, 금속 등) 관찰
비고
요금정보
예약시간 단위 1시간 최대 예약 가능 시간 제한없음
사용료 직접사용 40,000원
조작대행 100,000원
분석의뢰 -
기기사용료 설명 * 공지 사항 *

- SURPA 장비는 직접사용 만 가능합니다. 조작대행을 원하시면 SIGMA 를 이용해주세요.


<직접사용시>
- 기기작동 : 40,000원/50분 (이미지 획득 포함)

<조작대행시>
- 기기작동 : SIGMA 또는 SIGMA360 이용

<직접사용자 교육>
- 기기작동: SIGMA에서 진행 (담당연구원에게 이메일로 문의)

<추가실험조건>
- 백금코팅 : 30,000원/회
- 골드코팅 : 20,000/회
- 카본코팅 : 20,000/회
- stub : 10,000원/5개(소), 10,000원/2개(대)
- BSD : 추가요금 없음

* 예약하신 시간으로 사용료가 청구되오니 예약에 신중을 기해 주시기 바랍니다.
사용취소는 기기사용 예약시간 1일 전 홈페이지이지에서 직접가능하고, 1일 이내부터는 담당연구원에게 이메일로 요청바랍니다.
의뢰사용료 설명
적용비율(%) 적용비율(%) 기기사용료 적용비율(단, 일부기기 제외)
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구분 적용비율(%)
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교육기관 100
국공립기관 150
기업체 200
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