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FESEM/EDS-FlatQuad (AURIGA)

Field-Emission Scanning Electronic Microscopy

모델
AURIGA
기기실
주사전자현미경실
호실
201동 209호
담당자
백성주
연락처
02-880-4957
이메일
seongjoo1212@snu.ac.kr
확인해주세요!

· 모든 사용료는 '부가세 별도' 입니다.

· 소속구분에 따른 적용비율 (일부기기 제외) : 교육기관 100%, 국공립기관 150%, 기업체 200%

상세정보
모델명 AURIGA
구입년도 2010
제조국 독일
제조회사 Carl Zeiss
동작원리 전자빔이 시료와 충돌한 후 방출되는 2차전자 및 후방산란전자 등의 특성으로 3차원 이미지를 형성한다. 특히 전자가 전기장에 의하여 방출되므로 해상도가 향상되어 고배율, 고해상도 수준에서 표면구조를 관찰할 수 있는 장비이다.
장비성능 - Flat Quad 장착 : EDS의 한 종류로 기존의 EDS의 shadowing 현상을 최소화하여 시료 크기나 모양에 영향을 받지 않고 높은 performance로 분석 가능. 일반 EDS과 비교하여 신호량이 30배 이상(짧은 분석시간), EDS Detector와 샘플 간의 거리가 짧은 것이 특징.
- FIB 후 EDS 가능
- 해상도: FESEM (1.0 nm @ 15 kV),
- 가속전압: FESEM (0.1-30 kV),
- 배율: FESEM (12-100만배),
- ESB detector 장착 : 에너지선택형 후방산란전자 검출기를 이용하여 시료의 조성정보 분석가능
용도 - 고해상도/고배율 표면구조 관찰
- 나노 수준 미세구조의 표면 관찰
- 각종 생물/비생물성 시료(필름, 섬유, 입자, 금속 등) 관찰
- 시료의 정성 및 정량 분석
비고
요금정보
예약시간 단위 1시간 최대 예약 가능 시간 제한없음
사용료 직접사용 -
조작대행 100,000원
분석의뢰 -
기기사용료 설명 ◼️ 조작대행: 100,000원/50분 (이미지 획득 포함)

<추가실험조건>
- 백금코팅 : 30,000원/회
- EDS : 10,000원/회

- 예약 취소는 기기사용 48시간 전까지 가능하며 이후에는 예약 시간 만큼의 기본 사용료(60,000원)가 청구됩니다.
의뢰사용료 설명
적용비율(%) * 기기사용료 적용비율 (%) (단, 일부기기 제외)

교육기관 100
국공립기관 150
기업체 200
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