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· 모든 사용료는 '부가세 별도' 입니다.
· 소속구분에 따른 적용비율 (일부기기 제외) : 교육기관 100%, 국공립기관 150%, 기업체 200%
상세정보
| 모델명 | AURIGA |
|---|---|
| 구입년도 | 2010 |
| 제조국 | 독일 |
| 제조회사 | ZEISS |
| 동작원리 |
*EDS 분석 장비 EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) 분석 장비는 전자빔 조사 시 시료에서 방출되는 특성 X-선을 검출하여 시료의 원소 조성 및 분포를 정밀하게 분석하는 시스템입니다. Flat Quad 검출기가 장착되어 있어 shadowing 현상을 최소화하고, 짧은 분석 시간에도 높은 신호 수집 효율과 정확도를 제공합니다. *FIB 분석 장비 FIB(Focused Ion Beam) 분석 장비는 집속 이온빔을 이용하여 시료 표면을 정밀하게 가공하거나 단면을 제작할 수 있는 장비입니다.전자빔 관찰을 통해 미세 구조 분석이 가능하며, Pt 증착 기능으로 가공 중 시료 표면 보호가 가능합니다. |
| 장비성능 |
◼️ FIB Milling 후 EDS 분석 가능 - 본 장비는 FIB 가공 후 EDS 분석이 가능합니다. ◼️ EDS : Flat Quad 장착 Flat Quad 타입 EDS가 장착되어 있어 기존 EDS의 shadowing 현상을 최소화하여시료의 크기나 형상에 영향을 받지 않고 높은 분석 성능을 제공합니다. 일반 EDS 대비 약 30배 이상의 신호량을 확보하여 짧은 분석 시간으로도 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.또한 EDS 검출기와 시료 간의 거리가 짧아 효율적인 신호 수집이 가능합니다. ◼️ FIB 해상도: 2.5 nm @ 30 kV ◼️ 가속 전압 범위: 1.0 – 30 kV ◼️ 배율 범위: 50 – 500,000배 ◼️ FIB Gun 장착 - Milling (단면 절삭) ◼️ Pt Nozzle 장착 - Milling 과정 중 시료 표면 보호를 위한 백금(Pt) 증착(deposition) ◼️ ESB Detector 장착 - 에너지 선택형 후방산란전자 검출기(ESB, Energy Selective Backscattered Electron Detector)를 통해 시료의 조성 정보 분석이 가능합니다. |
| 용도 |
- 특정 영역의 시료면 절단, 마쇄 및 미세 패턴 형성 - TEM 시료 블록의 연속 절단 및 단면 관찰 - 특정 금속층 또는 산화물층의 선택적 제거 |
| 비고 |
요금정보
| 예약시간 단위 | 1시간 | 최대 예약 가능 시간 | 제한없음 | |
|---|---|---|---|---|
| 사용료 | 직접사용 | - | ||
| 조작대행 | 100,000원 | |||
| 분석의뢰 | 100,000원 | |||
| 기기사용료 설명 |
◼️ FE-SEM/EDS : 100,000원/50분 (이미지 획득 포함) ◼️ FIB : 200,000원/50분 <추가 실험 조건> - EDS : 10,000원/회 - 백금 증착 (Pt Deposition-FIB): 20,000원/회 - 백금(Pt) 코팅 : 30,000원/회 - 탄소(C) 코팅 : 30,000원/회 - Transfer Shuttle 대여 : 50,000원/회 (하루 전 방문) * 해당기기 사용취소는 기기사용 예약시간 48시간 전까지 가능하며, 이후 예약 시간만큼의 기본 사용료(60,000원/시간)가 청구됩니다. |
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| 의뢰사용료 설명 | ||||
| 적용비율(%) |
* 기기사용료 적용비율 (%) (단, 일부기기 제외) 교육기관 100 국공립기관 150 기업체 200 |
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