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· 모든 사용료는 '부가세 별도' 입니다.
· 소속구분에 따른 적용비율 (일부기기 제외) : 교육기관 100%, 국공립기관 150%, 기업체 200%
상세정보
| 모델명 | Crossbeam 550 |
|---|---|
| 구입년도 | 2020 |
| 제조국 | 독일 |
| 제조회사 | Carl Zeiss |
| 동작원리 |
전자빔을 시료에 주사하면 가속된 전자들이 시료의 표면에 충돌하게 된다. 충돌한 전자와 시료 표면에서 몇 가지의 상호작용에 의해 전자 시료의 정보를 가지고 튀어나온다. 튀어나온 전자를 검출기가 받아 이미지화하여 시료표면을 관찰할 수 있다. 갈륨이온을 시료에 주사하면 주사한 영역에 시료의 원자를 뜯어 낼 수 있다. 이를 이용하여 시료 표면을 절단하거나 가공이 가능하다. |
| 장비성능 |
SEM - source :Schotty emitter - accelerate voltage : 200V~30kV - resolution : 0.7nm at 15kV - beam current : 10pA~100nA FIB source : LMIS resolution: 3nm at 30kV accelerate voltage : 1kV~30kV beam current : 1pA~100nA detector : inlens SE, inlens EsB, ETD, BSD, STEM GIS : Pt, C |
| 용도 |
TEM Lamella 제작 patterning, lithography FIB-SEM serial cross section imaging for 3D reconstruction |
| 비고 |
요금정보
| 예약시간 단위 | 1시간 | 최대 예약 가능 시간 | 2시간 | |
|---|---|---|---|---|
| 사용료 | 직접사용 | - | ||
| 조작대행 | 300,000원 | |||
| 분석의뢰 | - | |||
| 기기사용료 설명 | milling : 250,000원/시간 | |||
| 의뢰사용료 설명 | TEM Lamella 제작 : 300,000원/시료 | |||
| 적용비율(%) |
적용비율: 기기사용료 적용비율 =============================== 구분 적용비율(%) =============================== 교육기관 100 국공립기관 150 기업체 200 =============================== |
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