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FESEM(SIGMA)

Field-Emission Scanning Electron Microscope

모델
SIGMA
기기실
주사전자현미경실
호실
201동 209호
담당자
장수진
연락처
02-880-4957
이메일
zzinyi@snu.ac.kr
확인해주세요!

· 모든 사용료는 '부가세 별도' 입니다.

· 소속구분에 따른 적용비율 (일부기기 제외) : 교육기관 100%, 국공립기관 150%, 기업체 200%

상세정보
모델명 SIGMA
구입년도 2014
제조국 영국
제조회사 Carl Zeiss
동작원리 전자빔이 시료와 충돌한 후 방출되는 2차전자 및 후방산란전자 등의 특성
으로 3차원 이미지를 형성한다. 특히 전자가 전기장에 의하여 방출되므로
해상도가 향상되어 고배율, 고해상도 수준에서 표면구조를 관찰할 수 있는
장비이다..
장비성능 해상도: FESEM (1.0 nm @ 15 kV),
- 가속전압: FESEM (0.1-30 kV),
- 배율: FESEM (12-100만배),
- 에너지선택형 후방산란전자 검출기를 이용하여 시료의 조성정보 분석가능(ESB detector)
- ASB detector 장착 : 후방산란전자를 통한 시료의 조성정보 및 결정구조를 분석
- EDS detector 장착 : SEM 사용시 원자번호 4번부터 시료의 정성 및 정량 분석 가능
- micro XRF 장착 : x 선을 이용하여 기존 EDS 로 분석이 힘들었던 미량원소 분석이 가능함 (원자번호 11번부터 분석 가능)
- smart stiching software 설치 : 시료 표면의 넓은 면적의 이미지를 획득하여 고배율의 매우 넓은 영역을 한 개의 이미지 파일에서 관찰 => 분석의뢰(대면적 이미징)으로 이용가능
용도 - 고해상도/고배율 표면구조 관찰
·나노 수준 미세구조의 표면 관찰
·각종 생물/비생물성 시료(필름, 섬유, 입자, 금속 등) 관찰
- 시료의 결정구조 관찰
- 시료의 정성 및 정량 정보 획득
- 대면적 이미징 분석 가능
비고
요금정보
예약시간 단위 1시간 최대 예약 가능 시간 제한없음
사용료 직접사용 60,000원
조작대행 100,000원
분석의뢰 100,000원
기기사용료 설명 <직접사용>
- 기기작동 : 60,000원/50분 (이미지 획득 포함)

<조작대행시>
- 기기작동 : 100,000원/50분 (이미지 획득 포함)


<직접사용자 교육>

- SIGMA로 교육 후, SUPRA 자가사용

1.기본교육

- 일정 : 2시간 (4주 수요일,15-17시)
- 인원 : 3명이내
- 교육비 : 200,000원(2시간 사용료)
- 신청 : 분석의뢰 신청 (원하는 월기입)

2. 개인실습

- 일정 : 원하는 시간, 2~5회 (증감될수 있음)
- 신청 : 직접사용신청,원하는 시간에 예약
- 내용 : 개별 실습으로 시료를 가지고 내방
- 주의 : 기본교육 수료자만 신청가능
- 실습비 : 60,000원/시간

*추가: 자세한 예약절차는 담당연구원에게 메일로 요청바람.

<추가실험조건>
- 백금코팅 : 30,000원/회
- 금코팅 : 20,000원/회
- 카본코팅 : 20,000/회
- EDS : 20,000원/사용시
- 모자이크이미징 : 20,000원/회
- micro XRF : 20,000원/회 (사용시 담당연구원과 상담 후 이용 부탁드립니다.)
- BSD : 추가요금 없음.
- ASB : 추가요금 없음.

* 예약하신 시간으로 사용료가 청구되오니 예약에 신중을 기해주시기바라며, 해당기기 사용취소는 48시간 전에 담당자 이메일로만 가능하며, 기기사용 미취소 시 예약시간만큼의 기본사용료(60,000원)가 청구됩니다.
의뢰사용료 설명
적용비율(%) 적용비율(%) 기기사용료 적용비율(단, 일부기기 제외)
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구분 적용비율(%)
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교육기관 100
국공립기관 150
기업체 200
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